壓電薄膜傳感器的原理和應(yīng)用
2021-03-19 11:07:25閱讀量:2309
壓電薄膜傳感器原理
壓電薄膜傳感器擁有獨(dú)一無(wú)二的特性,作為一種動(dòng)態(tài)應(yīng)變傳感器,非常適合應(yīng)用于人體皮膚表面或植入人體內(nèi)部的生命信號(hào)監(jiān)測(cè)。一些薄膜元件靈敏到足以隔著外套探測(cè)出人體脈搏。工采網(wǎng)將著重介紹幾種壓電薄膜在生命特征監(jiān)護(hù)方面的典型應(yīng)用。
當(dāng)你拉伸或彎曲一片壓電聚偏氟乙烯PVDF高分子膜(壓電薄膜),薄膜上下電極表面之間就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電信號(hào)(電荷或電壓),并且同拉伸或彎曲的形變成比例。一般的壓電材料都對(duì)壓力敏感,但對(duì)于壓電薄膜來(lái)說(shuō),在縱向施加一個(gè)很小的力時(shí),橫向上會(huì)產(chǎn)生很大的應(yīng)力,而如果對(duì)薄膜大面積施加同樣的力時(shí),產(chǎn)生的應(yīng)力會(huì)小很多。因此,壓電薄膜對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力非常敏感,28μm厚的PVDF的靈敏度典型值為10~15mV/微應(yīng)變(長(zhǎng)度的百萬(wàn)分率變化)。
使用‘動(dòng)態(tài)應(yīng)力’這個(gè)術(shù)語(yǔ)是因?yàn)樾巫儺a(chǎn)生的電荷會(huì)從與薄膜連接的電路流失,所以壓電薄膜并不能探測(cè)靜態(tài)應(yīng)力。當(dāng)需要探測(cè)不同水平的預(yù)應(yīng)力時(shí),這反而成為壓電薄膜的優(yōu)勢(shì)所在。薄膜只感受到應(yīng)力的變化量,最低響應(yīng)頻率可達(dá)0.1Hz。
壓電薄膜傳感器的應(yīng)用
壓電薄膜之所以即能探測(cè)非常微小的物理信號(hào)又能感受到大幅度的活動(dòng),是因?yàn)镻VDF膜的壓電響應(yīng)在相當(dāng)大的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)都是線性的(大約14個(gè)數(shù)量級(jí))。多數(shù)情況下,只要能明顯區(qū)分目標(biāo)信號(hào)和噪聲的帶寬,細(xì)小的目標(biāo)信號(hào)都可以通過(guò)過(guò)濾器采集到。
類似的傳感器已在睡眠紊亂研究中用于探測(cè)胸部,腿部,眼部肌肉和皮膚的運(yùn)動(dòng)。另外,傳感器可以通過(guò)探測(cè)肌肉(例如拇指和食指之間的肌肉)對(duì)電擊的反應(yīng)作為檢驗(yàn)麻醉效果的指示器(神經(jīng)肌肉傳導(dǎo))。
加速度傳感器
Minisense100是精量電子的一款標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,采用懸臂梁設(shè)計(jì),一端用硬性PCB板夾緊并帶有連接引腳,另一端裝有質(zhì)量塊。
質(zhì)量塊使傳感器在受到振動(dòng)時(shí)連貫反應(yīng)。質(zhì)量塊‘保持不動(dòng)’,而薄膜部分發(fā)生形變,從而產(chǎn)生非常高的電壓靈敏度(大約1V/g)。由這個(gè)元件派生出其他生命特征傳感器,例如工作人員或病患佩戴的智能胸卡(內(nèi)置RF遙感設(shè)備)。通過(guò)階段性采集佩戴者的信號(hào)來(lái)確定其位置和跟蹤其狀態(tài)。傳感器感測(cè)到胸卡被摘下時(shí)會(huì)將胸卡設(shè)置成睡眠狀態(tài);如果傳感器感受到身體任何部位的運(yùn)動(dòng),肌肉的震顫,甚至是脈搏的振動(dòng),會(huì)喚醒胸卡。
聽診
很多電子聽診器都采用了壓電薄膜作為傳感器元件,因?yàn)樗陀?,靈敏度高,帶寬范圍寬。在該應(yīng)用中,傳感器元件通常都封裝在傳統(tǒng)的金屬聽診頭中,因?yàn)閭鞲衅餍枰c身體形成‘作用力’。一旦動(dòng)態(tài)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),就可以有選擇性的過(guò)濾或放大、作為音頻信號(hào)回放、運(yùn)用更復(fù)雜的運(yùn)算方法判斷出具體的狀況、或傳輸?shù)竭h(yuǎn)程基站進(jìn)行進(jìn)一步分析存儲(chǔ)等。
傳感器組
一個(gè)復(fù)合聲傳感器可以同時(shí)監(jiān)控多個(gè)點(diǎn)。DeepBreeze公司用一個(gè)有差不多100個(gè)傳感器的傳感器組采集病人吸氣和呼氣的聲音信息。用真空罩將傳感器貼在皮膚表面。采集到的信號(hào)在加工處理后轉(zhuǎn)換成聲音的‘圖像’,因而氣管和肺里的氣流可以像動(dòng)畫片一樣成像。任何異物和不正?,F(xiàn)象在這些圖像中都一目了然。這種方式比X光可靠,而且安全。
病床監(jiān)護(hù)
壓電薄膜和壓電電纜都可以安裝在床墊上探測(cè)病人的心跳,呼吸和身體運(yùn)動(dòng)。HoanaMedicalInc.的監(jiān)護(hù)床報(bào)警系統(tǒng)在床墊和被單之間安裝了一組傳感器。病人坐或躺在監(jiān)護(hù)床上時(shí),傳感器可以隔著衣服和被單準(zhǔn)確測(cè)量收集患者的生命特征信息。柔性開關(guān)用于采集靜態(tài)信號(hào),病患所有的動(dòng)態(tài)信號(hào)都由壓電薄膜采集并轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號(hào),在病床邊上的顯示器顯示。病人的心率和呼吸速率不正常,或病人擅自下床時(shí),系統(tǒng)可以提前報(bào)警。這一切都由傳感器完成,而無(wú)需與病人直接接觸。
嬰兒呼吸監(jiān)控儀
Infantrust公司利用PVDF對(duì)應(yīng)力極端敏感的特性開發(fā)了一款輔助育兒產(chǎn)品Respisense。把監(jiān)控儀夾在紙尿片貼近嬰兒腰部的位置,監(jiān)控嬰兒心跳。Respisense中的壓電薄膜與腹部皮膚直接接觸,在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)如果沒探測(cè)到嬰兒在活動(dòng),震動(dòng)蜂鳴器將被啟動(dòng),輕輕地?fù)軇?dòng)?jì)雰?,刺激它呼吸。如果在此后的一段時(shí)間內(nèi)嬰兒仍沒有反應(yīng),報(bào)警器將被啟動(dòng)。
呼吸熱電監(jiān)測(cè)
PVDF對(duì)溫度的動(dòng)態(tài)變化也相當(dāng)敏感(28μm厚壓電薄膜的典型值是8V/oC)。英國(guó)C-Lect醫(yī)療公司開發(fā)了一款監(jiān)控器,用來(lái)監(jiān)測(cè)呼吸速率。用面罩將一小塊壓電薄膜元件固定在口鼻處,吸進(jìn)和呼出氣體的溫度變化產(chǎn)生強(qiáng)勁的電信號(hào)。即使吸入的是加熱過(guò)的氧氣/空氣,測(cè)量結(jié)果仍然十分準(zhǔn)確。PIPPA監(jiān)控器由電池供電,LCD顯示每分鐘的呼吸次數(shù)。
壓電薄膜傳感器擁有獨(dú)一無(wú)二的特性,作為一種動(dòng)態(tài)應(yīng)變傳感器,非常適合應(yīng)用于人體皮膚表面或植入人體內(nèi)部的生命信號(hào)監(jiān)測(cè)。一些薄膜元件靈敏到足以隔著外套探測(cè)出人體脈搏。工采網(wǎng)將著重介紹幾種壓電薄膜在生命特征監(jiān)護(hù)方面的典型應(yīng)用。
當(dāng)你拉伸或彎曲一片壓電聚偏氟乙烯PVDF高分子膜(壓電薄膜),薄膜上下電極表面之間就會(huì)產(chǎn)生一個(gè)電信號(hào)(電荷或電壓),并且同拉伸或彎曲的形變成比例。一般的壓電材料都對(duì)壓力敏感,但對(duì)于壓電薄膜來(lái)說(shuō),在縱向施加一個(gè)很小的力時(shí),橫向上會(huì)產(chǎn)生很大的應(yīng)力,而如果對(duì)薄膜大面積施加同樣的力時(shí),產(chǎn)生的應(yīng)力會(huì)小很多。因此,壓電薄膜對(duì)動(dòng)態(tài)應(yīng)力非常敏感,28μm厚的PVDF的靈敏度典型值為10~15mV/微應(yīng)變(長(zhǎng)度的百萬(wàn)分率變化)。
使用‘動(dòng)態(tài)應(yīng)力’這個(gè)術(shù)語(yǔ)是因?yàn)樾巫儺a(chǎn)生的電荷會(huì)從與薄膜連接的電路流失,所以壓電薄膜并不能探測(cè)靜態(tài)應(yīng)力。當(dāng)需要探測(cè)不同水平的預(yù)應(yīng)力時(shí),這反而成為壓電薄膜的優(yōu)勢(shì)所在。薄膜只感受到應(yīng)力的變化量,最低響應(yīng)頻率可達(dá)0.1Hz。

壓電薄膜傳感器的應(yīng)用
接觸式傳感器
利用壓電薄膜的動(dòng)態(tài)應(yīng)變片特性,可以輕松的將壓電薄膜直接固定在人體皮膚上(例如手腕內(nèi)側(cè))。精量電子—美國(guó)MEAS傳感器的產(chǎn)品型號(hào)1001777是一款通用傳感器,傳感器的一側(cè)涂有壓力敏感膠。但這款膠未經(jīng)生物兼容性認(rèn)證,在短期試驗(yàn)中可以將3M9842(聚亞安酯膠帶)固定在皮膚上,再將壓電薄膜傳感器粘貼在3M膠帶上。壓電薄膜之所以即能探測(cè)非常微小的物理信號(hào)又能感受到大幅度的活動(dòng),是因?yàn)镻VDF膜的壓電響應(yīng)在相當(dāng)大的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)都是線性的(大約14個(gè)數(shù)量級(jí))。多數(shù)情況下,只要能明顯區(qū)分目標(biāo)信號(hào)和噪聲的帶寬,細(xì)小的目標(biāo)信號(hào)都可以通過(guò)過(guò)濾器采集到。
類似的傳感器已在睡眠紊亂研究中用于探測(cè)胸部,腿部,眼部肌肉和皮膚的運(yùn)動(dòng)。另外,傳感器可以通過(guò)探測(cè)肌肉(例如拇指和食指之間的肌肉)對(duì)電擊的反應(yīng)作為檢驗(yàn)麻醉效果的指示器(神經(jīng)肌肉傳導(dǎo))。
加速度傳感器
Minisense100是精量電子的一款標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,采用懸臂梁設(shè)計(jì),一端用硬性PCB板夾緊并帶有連接引腳,另一端裝有質(zhì)量塊。
質(zhì)量塊使傳感器在受到振動(dòng)時(shí)連貫反應(yīng)。質(zhì)量塊‘保持不動(dòng)’,而薄膜部分發(fā)生形變,從而產(chǎn)生非常高的電壓靈敏度(大約1V/g)。由這個(gè)元件派生出其他生命特征傳感器,例如工作人員或病患佩戴的智能胸卡(內(nèi)置RF遙感設(shè)備)。通過(guò)階段性采集佩戴者的信號(hào)來(lái)確定其位置和跟蹤其狀態(tài)。傳感器感測(cè)到胸卡被摘下時(shí)會(huì)將胸卡設(shè)置成睡眠狀態(tài);如果傳感器感受到身體任何部位的運(yùn)動(dòng),肌肉的震顫,甚至是脈搏的振動(dòng),會(huì)喚醒胸卡。
聽診
很多電子聽診器都采用了壓電薄膜作為傳感器元件,因?yàn)樗陀?,靈敏度高,帶寬范圍寬。在該應(yīng)用中,傳感器元件通常都封裝在傳統(tǒng)的金屬聽診頭中,因?yàn)閭鞲衅餍枰c身體形成‘作用力’。一旦動(dòng)態(tài)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),就可以有選擇性的過(guò)濾或放大、作為音頻信號(hào)回放、運(yùn)用更復(fù)雜的運(yùn)算方法判斷出具體的狀況、或傳輸?shù)竭h(yuǎn)程基站進(jìn)行進(jìn)一步分析存儲(chǔ)等。
傳感器組
一個(gè)復(fù)合聲傳感器可以同時(shí)監(jiān)控多個(gè)點(diǎn)。DeepBreeze公司用一個(gè)有差不多100個(gè)傳感器的傳感器組采集病人吸氣和呼氣的聲音信息。用真空罩將傳感器貼在皮膚表面。采集到的信號(hào)在加工處理后轉(zhuǎn)換成聲音的‘圖像’,因而氣管和肺里的氣流可以像動(dòng)畫片一樣成像。任何異物和不正?,F(xiàn)象在這些圖像中都一目了然。這種方式比X光可靠,而且安全。
病床監(jiān)護(hù)
壓電薄膜和壓電電纜都可以安裝在床墊上探測(cè)病人的心跳,呼吸和身體運(yùn)動(dòng)。HoanaMedicalInc.的監(jiān)護(hù)床報(bào)警系統(tǒng)在床墊和被單之間安裝了一組傳感器。病人坐或躺在監(jiān)護(hù)床上時(shí),傳感器可以隔著衣服和被單準(zhǔn)確測(cè)量收集患者的生命特征信息。柔性開關(guān)用于采集靜態(tài)信號(hào),病患所有的動(dòng)態(tài)信號(hào)都由壓電薄膜采集并轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電信號(hào),在病床邊上的顯示器顯示。病人的心率和呼吸速率不正常,或病人擅自下床時(shí),系統(tǒng)可以提前報(bào)警。這一切都由傳感器完成,而無(wú)需與病人直接接觸。
嬰兒呼吸監(jiān)控儀
Infantrust公司利用PVDF對(duì)應(yīng)力極端敏感的特性開發(fā)了一款輔助育兒產(chǎn)品Respisense。把監(jiān)控儀夾在紙尿片貼近嬰兒腰部的位置,監(jiān)控嬰兒心跳。Respisense中的壓電薄膜與腹部皮膚直接接觸,在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)如果沒探測(cè)到嬰兒在活動(dòng),震動(dòng)蜂鳴器將被啟動(dòng),輕輕地?fù)軇?dòng)?jì)雰?,刺激它呼吸。如果在此后的一段時(shí)間內(nèi)嬰兒仍沒有反應(yīng),報(bào)警器將被啟動(dòng)。
呼吸熱電監(jiān)測(cè)
PVDF對(duì)溫度的動(dòng)態(tài)變化也相當(dāng)敏感(28μm厚壓電薄膜的典型值是8V/oC)。英國(guó)C-Lect醫(yī)療公司開發(fā)了一款監(jiān)控器,用來(lái)監(jiān)測(cè)呼吸速率。用面罩將一小塊壓電薄膜元件固定在口鼻處,吸進(jìn)和呼出氣體的溫度變化產(chǎn)生強(qiáng)勁的電信號(hào)。即使吸入的是加熱過(guò)的氧氣/空氣,測(cè)量結(jié)果仍然十分準(zhǔn)確。PIPPA監(jiān)控器由電池供電,LCD顯示每分鐘的呼吸次數(shù)。
用壓電薄膜制造的嘴唇接觸式傳感器運(yùn)用了相同的原理,探測(cè)通過(guò)嘴或鼻子的氣流。相對(duì)于熱敏電阻來(lái)說(shuō),壓電薄膜靈敏度高,響應(yīng)速度快,柔軟,并且探測(cè)面積大。
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