雪中送炭?東京應(yīng)化已在韓國(guó)生產(chǎn)EUV光刻膠!
2020-07-09 18:01:15閱讀量:681來(lái)源:芯片大師
導(dǎo)讀:據(jù)韓媒Business Korea報(bào)道,全球光刻膠巨頭日本TOK(東京應(yīng)化)公司已開(kāi)始在韓國(guó)生產(chǎn) EUV 光刻膠,有望繞過(guò)日本政府對(duì)韓出口管制。
來(lái)源:東京應(yīng)化(TOK)
韓國(guó)貿(mào)易工業(yè)和能源部7月1日表示,TOK 在致當(dāng)?shù)匾患颐襟w的信中說(shuō),其韓國(guó)子公司正在制造 EUV 光刻膠,并可以及時(shí)提供該產(chǎn)品。
而自2019年7月起,EUV 光刻膠是日本政府禁止向韓國(guó)出口的物品之一。該公司似乎選擇在韓國(guó)生產(chǎn) EUV 光刻膠,以繞過(guò)日本政府的出口管制。
圖:TOK 的海外工廠
據(jù)報(bào)道,三星電子正在對(duì)位于仁川的 TOK 工廠生產(chǎn)的 EUV 用光刻膠進(jìn)行測(cè)試,將在其非內(nèi)存生產(chǎn)線中使用光刻膠進(jìn)行 EUV 工藝制造。報(bào)道認(rèn)為,三星對(duì)日本公司在韓國(guó)生產(chǎn)的 EUV 光刻膠表現(xiàn)出興趣。
2019年遭遇禁運(yùn)后,三星曾向另一家光刻膠巨頭 JSR 的比利時(shí)子公司尋求產(chǎn)品供應(yīng)。外界普遍認(rèn)為,韓國(guó)半導(dǎo)體業(yè)在短期內(nèi)很難解決高端半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)化難題。
JSR(東京合成橡膠)、TOK(東京應(yīng)化)和Shin-Etsu(信越化學(xué))三家企業(yè)是全球主要的半導(dǎo)體化學(xué)材料供應(yīng)商,包含三家在內(nèi)的日本企業(yè)占據(jù)全球光刻膠市場(chǎng)份額超過(guò)70%,在高端的 ArF 和 EUV 光刻膠領(lǐng)域市場(chǎng)占有率則超過(guò)90%。
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