導(dǎo)讀：據(jù)韓媒Business Korea報道，全球光刻膠巨頭日本TOK（東京應(yīng)化）公司已開始在韓國生產(chǎn) EUV 光刻膠，有望繞過日本政府對韓出口管制。

  

來源：東京應(yīng)化（TOK）

韓國貿(mào)易工業(yè)和能源部7月1日表示，TOK 在致當?shù)匾患颐襟w的信中說，其韓國子公司正在制造 EUV 光刻膠，并可以及時提供該產(chǎn)品。

而自2019年7月起，EUV 光刻膠是日本政府禁止向韓國出口的物品之一。該公司似乎選擇在韓國生產(chǎn) EUV 光刻膠，以繞過日本政府的出口管制。

  

圖：TOK 的海外工廠

據(jù)報道，三星電子正在對位于仁川的 TOK 工廠生產(chǎn)的 EUV 用光刻膠進行測試，將在其非內(nèi)存生產(chǎn)線中使用光刻膠進行 EUV 工藝制造。報道認為，三星對日本公司在韓國生產(chǎn)的 EUV 光刻膠表現(xiàn)出興趣。

2019年遭遇禁運后，三星曾向另一家光刻膠巨頭 JSR 的比利時子公司尋求產(chǎn)品供應(yīng)。外界普遍認為，韓國半導(dǎo)體業(yè)在短期內(nèi)很難解決高端半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化難題。

JSR（東京合成橡膠）、TOK（東京應(yīng)化）和Shin-Etsu（信越化學(xué)）三家企業(yè)是全球主要的半導(dǎo)體化學(xué)材料供應(yīng)商，包含三家在內(nèi)的日本企業(yè)占據(jù)全球光刻膠市場份額超過70%，在高端的 ArF 和 EUV 光刻膠領(lǐng)域市場占有率則超過90%。

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